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本報(bào)訊 （記者 程曉琳） 2月18日，中科院蘇州納米所納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站二期建設(shè)項(xiàng)目在蘇州順利通過(guò)總體驗(yàn)收，已初步建成國(guó)際先進(jìn)的真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)裝置。
中科院蘇州納米所納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站始建于2014年，是世界首個(gè)以國(guó)家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施為標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)的重大科學(xué)裝置。面向國(guó)家戰(zhàn)略需求和科學(xué)前沿重大問(wèn)題，實(shí)驗(yàn)站開(kāi)創(chuàng)了一條變革性的技術(shù)路線，其將材料生長(zhǎng)、器件工藝、測(cè)試分析等功能通過(guò)超高真空管道有機(jī)互聯(lián)，使得傳統(tǒng)常規(guī)超潔凈環(huán)境下獨(dú)立分散設(shè)備難以實(shí)現(xiàn)的材料本征特性、原子級(jí)精準(zhǔn)調(diào)控、器件原位制造等局限實(shí)現(xiàn)突破。
中國(guó)科學(xué)院蘇州納米所所務(wù)委員、實(shí)驗(yàn)站主任張珽研究員介紹，目前，長(zhǎng)達(dá)203米的真空互聯(lián)管道中，近40臺(tái)大型工藝設(shè)備已實(shí)現(xiàn)互聯(lián)，配套的材料制備與工藝、微觀機(jī)理準(zhǔn)原位分析、跨尺度性能測(cè)試、氣氛可控和真空互聯(lián)控制與對(duì)接系統(tǒng)等五大模塊平臺(tái)全部建成。實(shí)驗(yàn)站組建的一支200余人的高水平人才隊(duì)伍，在半導(dǎo)體材料、量子材料、能源與催化材料、高溫超導(dǎo)材料、有機(jī)半導(dǎo)體材料及新興納米材料等先進(jìn)材料和半導(dǎo)體核心器件領(lǐng)域已取得一定的國(guó)際影響力。中國(guó)科學(xué)院蘇州納米所副所長(zhǎng)、黨委副書記王強(qiáng)斌表示，未來(lái)，納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站將繼續(xù)向建設(shè)成國(guó)際上最先進(jìn)的納米器件與材料綜合研究系統(tǒng)和公共實(shí)驗(yàn)平臺(tái)目標(biāo)邁進(jìn)，圍繞納米科技領(lǐng)域重要前瞻性戰(zhàn)略布局，為江蘇省乃至長(zhǎng)三角地區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供強(qiáng)力支撐。
標(biāo)簽： 蘇州納米所 中國(guó)科學(xué)院
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